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“中国芯”关键材料国产化

前驱体材料

光刻胶及配套材料

稀释剂（Thinner）

稀释剂（Thinner）

中文名：稀释剂
英文名：Thinner
CAS号：107-98-2 108-65-6
熔点：<-10℃
沸点：121℃~140℃
蒸气压：10.9 mm Hg(25℃)
产品等级：UP级、UP-S级
规格：1加仑/200L/11m³槽车

六甲基二硅氮烷（HMDS）

六甲基二硅氮烷（HMDS）

中文名：六甲基二硅氮烷
英文名：Hexamethyldisilazane
CAS号：999-97-3
熔点：-78℃
沸点：125℃
蒸气压：20 hPa (20℃)
产品等级：UP-S级
规格：1加仑/200L/11m³槽车

193nm ArF光刻胶

193nm ArF光刻胶

量产筹备中敬请期待
· 193nm ArF光刻胶已通过存储、逻辑两家芯片制造企业验证，成为国内首个通过验证的ArF光刻胶产品
· 2021年建党100周年前夕，顺利通过国家“02-专项”验收

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